第290章 光刻机完工(第2页)

"紫外光源必须足够稳定，波长要精确控制在365纳米附近..."

林舟将自制的汞灯光源安装上去，连接电路，调试光强。这盏灯是他托人从物理研究所"借"来的实验室设备，经过改装后勉强能用，虽然和后世的准分子激光光源没法比，但对于当前阶段己经足够了。.兰′兰\文+学, \庚￠欣+醉-全!

"机械平台的xy方向移动精度必须控制在微米级别..."

这是最令他头疼的部分。在这个连数控机床都是稀罕物的年代，想要实现微米级精度的机械控制简首是痴人说梦。好在有"小世界"相助，林舟经过无数次失败尝试，最终设计出一套基于微分螺丝和杠杆原理的精密控制机构，虽然原始，但勉强够用。

时间在小世界中流逝，林舟的额头渗出细密的汗珠，但他眼神专注，手上动作丝毫不乱。终于，当最后一个部件被精确安装到位，一台外形粗糙但结构完整的简易光刻机呈现在眼前。

"理论上...这玩意应该能工作。"林舟擦了擦汗，声音里带着些许不确定，"当然，分辨率肯定比不上现代的光刻机，但刻个几百微米的线宽应该没问题。"

他深吸一口气，准备进行测试。先是接通电源，检查各部件运行状况；然后安装测试用的掩模版，调整光路；最后放入一块预先涂好光刻胶的玻璃基板...

"准备就绪，开始曝光测试。"

林舟按下启动按钮，紫外灯亮起，发出幽幽蓝光。机械平台精确移动，将光线通过掩模版照射到基板上。整个过程持续了约30秒，随后自动停止。

"显影、蚀刻..."

林舟小心翼翼地将曝光后的基板取出，放入显影液中。几分钟后，他用镊子夹出基板，仔细观察。

"成了！"他忍不住高声欢呼，"图形转印成功！"

虽然线条有些模糊，边缘也不那么整齐，但掩模版上的图案确实被成功转印到了基板上。这意味着，世界上第一台由"个人"制造的光刻机，在这个小世界中诞生了。

"不敢相信，我真的做到了。"林舟脸上露出释然的笑容，眼中闪烁着激动的泪光，"虽然这台机器可能连80年代的水平都不如，但在六十年代，这绝对是划时代的革命性突破！"