第278章 捷报传来!0.8微米芯片的曙光!
墙壁上,那张宏伟的蓝图,仿佛一轮初升的太阳,将光芒洒在每一个德国工程师震惊而又逐渐变得火热的脸上。
他们看到了一条从未见过的、通往技术圣殿的清晰路径。
一个全新的,属于光与精密的时代,似乎正伴随着这位东方学者的到来,在耶拿这座古老的光学之城,缓缓拉开了序幕。
短暂的死寂之后,人群中爆发出了一阵压抑不住的骚动。
“u?glich!(不可能!)”一个声音尖锐地响起,“这……这是AsmL下一代产品的概念图吗?不,有些结构比他们的规划还要激进!”
“双工件台的同步运动模型,还有那个……那个浸没式光刻的液体循环和温度控制系统……我的上帝,这根本不是现有技术能达到的!”
“这是科幻小说!”
怀疑、震惊、不信,但更多的是一种技术人员见到终极梦想蓝图时的狂热。对于这群将一生都奉献给精密仪器的德国人来说,这张图的吸引力,远比金钱和地位要大得多。
就在这时,一个头发花白、身形高大、腰板挺得笔直的老者从人群中排众而出。他脸上沟壑纵横,眼神却像鹰隼般锐利,灰色的工装上沾着几点油渍,但却洗得干干净净。
“是里希特先生!”
“物镜研磨部门的总管,克劳斯·里希特!”
人群自动为他让开了一条路。里希特在耶拿公司工作了超过四十年,是整个光学镜头研磨和抛光领域的泰斗级人物,他亲手打磨出的镜片,精度达到了原子级别,是公司里公认的、脾气最臭、也最受尊敬的技术权威。
里希特没有理会众人的议论,他径直走到墙边,死死地盯着投影上的蓝图,浑浊的眼球里几乎要冒出火来。他看了一分钟,又一分钟,仿佛要用目光将这张图纸洞穿。
终于,他缓缓转过身,锐利的目光直刺顾秉文。
“顾博士,久闻大名。”他的声音沙哑而有力,带着一股不容置疑的质询意味,“这张图,很宏伟,也很……狂妄。我只问一个问题。”
他伸出一根因为常年工作而略显粗糙的手指,指向蓝图上物镜系统的核心部分。
“这里的最后一个透镜组,要求材料折射率达到1.9,同时在193纳米波长下的光吸收率低于百分之零点零一。据我所知,全世界没有任何一家玻璃厂商,包括我们自己的肖特玻璃,能够稳定生产出这种性能的氟化钙晶体。你们打算怎么解决?”
这个问题一出,整个研发中心瞬间安静下来。
所有人都屏住了呼吸。
这是真正的核心难题,是卡住全世界光刻机镜头发展的关键瓶颈之一!里希特一开口,就问到了死穴上!
所有人的目光都聚焦在了顾秉文身上,想看看这位来自东方的学术权威,要如何回答这个近乎无解的问题。
面对这泰山压顶般的质询,顾秉文却只是平静地推了推眼镜。
他没有直接回答,而是反问道:“里希特先生,您的问题非常专业。那么,您是否尝试过,在氟化钙晶体的生长过程中,引入极低浓度的钇元素进行晶格掺杂,并在退火阶段,施加一个强度为1.5特斯拉的轴向旋转磁场?”
里希特猛地一愣,眉头瞬间拧成了一个疙瘩。
掺杂钇?还施加旋转磁场?这是什么理论?教科书上从来没写过!
顾秉文仿佛看穿了他的心思,继续不疾不徐地说道:“引入钇元素,可以有效捕获晶体在生长过程中产生的自由氟离子,形成稳定的微观结构,从而抑制‘色心’的形成,这是降低光吸收率的关键。而在退火阶段施加旋转磁场,是为了利用洛伦兹力,对晶格内部的微应力进行重新排布和释放,最大限度地消除双折射效应,从而将折射率的均匀性提升一个数量级。”
“我们……我们把这个工艺,称为‘磁控退火掺杂生长法’。”
顾秉文的声音不大,但每一个字,都像一颗重磅炸弹,在里希特的脑海里,在现场所有德国工程师的心中,轰然炸响!
现场鸦雀无声。
只剩下粗重的呼吸声。
里希特脸上的表情,从最初的质询,到错愕,再到震惊,最后化为一种难以置信的、见证了神启般的迷茫和激动。
他自己就是材料学的大师,顾秉文所描述的每一个步骤,虽然听起来匪夷所思,但从物理原理上,却又严谨得让他找不到任何反驳的理由!这完全是一种超越了当前时代的、降维打击般的工艺思路!
“您……您是怎么知道的?”里希特的声音已经开始颤抖。